በሴሚኮንዳክተር ዋፈሮች፣ ትክክለኛ የኦፕቲካል ሌንሶች እና በተሸፈኑ ክፍሎች ላይ የገጽታ ሸካራነት፣ የእርምጃ ቁመት እና ቀጭን የፊልም ውፍረት መመርመር የምርት ምርትን በቀጥታ ይወስናል። ባህላዊ የመገናኛ ምርመራ ቅኝት ስስ ናሙናዎችን በቀላሉ ይቧጭራል፣ ተራ የኦፕቲካል መለኪያ መሳሪያዎች ደግሞ የናኖ ደረጃ ትክክለኛነትን ማቅረብ አይችሉም። በተመሳሳይ ጊዜ ጎጂ ያልሆነ ሙከራ፣ እጅግ በጣም ከፍተኛ የናኖ ትክክለኛነት እና ከፍተኛ የውጤት ብዛት ምርት ፍተሻን እንዴት ማግኘት ይቻላል?
የሞገድ ርዝመት OE አዲሱ የኢንዱስትሪ ነጭ ብርሃን ኢንተርፌሮሜትር ባለሁለት ኢንተርፌሮሜትሪ የመለኪያ ሁነታዎችን ያሳያል። እውቂያ-አልባ ማወቂያ ያለው ሲሆን፣ ከላቦራቶሪ ምርምር እና ልማት እስከ የመስመር ላይ የምርት QC ድረስ ያለውን ሙሉ የስራ ፍሰት ይሸፍናል።
ለሁሉም የገጽታ መልከዓ ምድር አቀማመጥ ባለሁለት ኮር ኢንተርፌሮሜትሪ ሁነታዎች
ከነጠላ-ሁነታ መለኪያ መሳሪያዎች በተለየ መልኩ፣ ይህ ስርዓት VSI (Vertical Scanning Interferometry) እና PSI (Phase-Shifting Interferometry) ስልተ ቀመሮችን በማዋሃድ በአንድ ማሽን ሁለት ዋና የመለኪያ ፍላጎቶችን ያሟላል።
| የንጽጽር ንጥል | ቪኤስአይ / ሲኤስአይ | የፒሲአይ (PSI) |
|---|---|---|
| ዋና የሚመለከታቸው ወለሎች | ሻካራ ገጽታዎች፣ ደረጃዎች፣ የማያቋርጥ እና ውስብስብ የመሬት አቀማመጥ | እጅግ በጣም ለስላሳ፣ ቀጣይነት ያለው እና የመስታወት ገጽታዎች |
| የአቀባዊ ቁመት መለኪያ ክልል | ሰፊ ክልል፤ ጥልቅ ጉድጓዶችን እና ከፍተኛ ደረጃዎችን ለመለካት የሚችል | ጠባብ ክልል፤ ለተለዩ ትላልቅ ደረጃዎች ተስማሚ አይደለም |
| አቀባዊ ጥራት | የናኖሜትር ደረጃ፤ በተመቻቹ ስልተ ቀመሮች ሊደረስበት የሚችል ንዑስ ናኖሜትር | ከፍተኛ ጥራት፤ እስከ ንዑስ ናኖሜትር ድረስ የመድገም ችሎታ እንኳን ንዑስ-አንግስትሮም ደረጃን ጨምሮ |
| ለገጸ-ባህሪያት ሻካራነት መቻቻል | ከፍተኛ | ዝቅተኛ |
| የደረጃ አሻሚነት | ማለት ይቻላል ምንም ማለት ይቻላል፤ ፍጹም የቁመት እሴት ውጤት ይገኛል | ለ2π የደረጃ መጠቅለያ ስህተት ተገዢ |
| የፍጥነት መለኪያ | በአክሰል ቅኝት ይፈልጋል፣ በአንጻራዊነት ቀርፋፋ | በአጠቃላይ ፈጣን |
| የንዝረት መቋቋም | በስካኒንግ ወቅት ለንዝረት ተጋላጭ | ባለብዙ ፍሬም ደረጃ ሽግግር፣ ለንዝረት የበለጠ ስሜታዊ |
| የተለመዱ አፕሊኬሽኖች | ሻካራነት፣ የደረጃ ቁመት፣ ማይክሮስትራክቸርስ፣ የተገጠሙ ቦታዎች | እጅግ በጣም ለስላሳ የሆነ የወለል ሸካራነት፣ የወለል ቅርፅ እና ጠፍጣፋነት ሙከራ |
PSI (የደረጃ-መቀየሪያ ኢንተርፌሮሜትሪ)፡- በናኖ-ስኬል ጥቃቅን ቁመት ባህሪያት እና እጅግ በጣም ቀጭን ፊልሞች ላይ የተካነ፣ እጅግ በጣም ጥቃቅን ጥራት ያለው።
የፕላን መስታወት
የተጠማዘዘ መስታወት (ኮንቬክስ መስታወት)
የፎቶሊቶግራፊክ ንድፍ ናሙና
የቪኤስአይ አቀባዊ ቅኝት ኢንተርፌሮሜትሪ፡- ትልቅ የቁመት ልዩነቶች እና ረጅም ደረጃዎች ላሏቸው የስራ ክፍሎች የተመቻቸ፤ ሙሉ የመለኪያ ክልል ያለ ክፍልፋይ ቅኝት ይገኛል።
በተራቀቁ የታሸጉ ዋፈሮች ላይ ክብ ቅርጽ ያለው ማይክሮ ባምፕ አደራደር
በተራቀቁ የታሸጉ ዋፈሮች ላይ ሞላላ ማይክሮ ባምፕ አደራደር
የማይክሮሌን አደራደር
ከ450–700 nm አጭር ወጥነት ካለው ነጭ የብርሃን ምንጭ ጋር የተጣጣመ፣ ከብዙ ነጸብራቆች የሚመጣን የተሳሳቱ ብርሃን ውጤታማ በሆነ መንገድ ማፈን እና ጠንካራ የጣልቃ ገብነት አፈፃፀምን መስጠት ይችላል። በዝቅተኛ አንጸባራቂነት የተገጠመለት ይህ የኦፕቲካል ክፍል የተረጋጋ እና የተለዩ የጣልቃ ገብነት ምልክቶችን በማምጣት ትክክለኛ እና አስተማማኝ የመለኪያ ውጤቶችን መስጠት ይችላል።
2. በኢንዱስትሪው ውስጥ ግንባር ቀደም የሆኑ የናኖ-ደረጃ ዝርዝሮች፣ ሊከታተሉ የሚችሉ እና ዘላቂ የረጅም ጊዜ መረጃዎች
- ስርዓቱ በ550 nm ማዕከላዊ የሞገድ ርዝመት ያለው እና ከዓለም አቀፍ ፕሪሚየም ደረጃዎች ጋር የሚዛመዱ ከፍተኛ ደረጃ ያላቸው ኮር የአፈጻጸም መለኪያዎች የተገጠመለት የኤልኢዲ ነጭ የብርሃን ምንጭን ይጠቀማል።
-አቀባዊ ጥራት፡ ＜1 nm፣ የተደጋጋሚ የመለኪያ ስህተት፡ ＜10 nm፣ እውነተኛ ናኖሜትር ትክክለኛነት
-ከፍተኛው የአቀባዊ የመለኪያ ክልል፡ 500 μm፣ ለከፍተኛ-ዝቅተኛ ማይክሮ መዋቅሮች ተደጋጋሚ አቀማመጥ አያስፈልግም።
-የቅኝት ፍጥነት፡ 100 μm/ሰከንድ፣ አንድ ሙሉ ቅኝት በ10 ሰከንዶች ውስጥ ተጠናቋል፣ ትክክለኛነትን እና የፍተሻ ፍሰትን ማመጣጠን።
-ከNIST ዱካ ክትትል ደረጃዎች ጋር የሚስማማ፣ አብሮ የተሰራው ራስ-ሰር ማስተካከያ ስልተ ቀመር ወጥ የሆነ ክትትል የሚደረግበት የባች ውሂብን ያረጋግጣል፣ ለሴሚኮንዳክተር እና ለኦፕቲካል ኢንዱስትሪዎች ጥብቅ የQC ደረጃዎችን ያሟላል።
| እቃ | መለኪያ |
| የመለኪያ አቅም | የ3-ልኬት ወለል መልከዓ ምድር፣ የገጽታ ሸካራነት፣ የደረጃ ቁመት እና የሚያንፀባርቁ ቁሳቁሶች እና የኦፕቲካል ክፍሎች የፊልም ውፍረት |
| የውሂብ ማግኛ ሁነታ | አቀባዊ የቃኝ ኢንተርፌሮሜትሪ (VSI) + የደረጃ-መቀየሪያ ኢንተርፌሮሜትሪ (PSI) |
| የመለኪያ ስርዓት | NIST ሊከታተል የሚችል መደበኛ + አውቶማቲክ የመለኪያ ስልተ ቀመር |
| አቀባዊ የመለኪያ ክልል | 500 μm |
| የእይታ መስክ | 20× ዒላማ፡ 0.87 × 0.65 ሚሜ |
| የካሜራ አፈጻጸም | ከፍተኛ ጥራት፡ 2048×2448፤ የፍሬም ፍጥነት፡ 74 Fps፤ የቢት ጥልቀት፡ 12 ቢት |
| የቃኝ ፍጥነት | 100 μm/s (የትክክለኛነት ሁነታ) |
| የዒላማ ሌንስ አማራጮች | ሊዋቀሩ የሚችሉ 20x / 50x የማጉላት ዓላማዎች |
| የመጫኛ ዲዛይን | አብሮ የተሰራ ንቁ የንዝረት ማግለያ መድረክ፣ አግድም እና ቀጥ ያለ መጫኛ ይገኛል |
| አጠቃላይ ልኬት (L×W×H) | 120 × 80 × 65 ሴ.ሜ |
| የተጣራ ክብደት | ≤58 ኪ.ግ |
3. የኢንዱስትሪ የተቀናጀ የካቢኔ ዲዛይን፣ ከላብራቶሪ እና ከማምረቻ መስመር ጋር ተኳሃኝ
ለሁለቱም የጅምላ ማምረቻ አውደ ጥናቶች እና ተለዋዋጭ የመጫኛ ተኳሃኝነት ላላቸው ሳይንሳዊ የምርምር ላቦራቶሪዎች የተመቻቸ።
አብሮ የተሰራ ንቁ የንዝረት ማግለያ መድረክ፡ በፋብሪካ ንዝረት ስር የተረጋጋ መለኪያ፣ ምንም ተጨማሪ የንዝረት ማግለያ ሰንጠረዥ አያስፈልግም።
ባለሁለት የመጫኛ መዋቅር፡ አግድም ወይም ቀጥ ያለ ማዋቀር፣ ከአውቶሜትድ የምርት መስመሮች እና የላብራቶሪ ጣቢያዎች ጋር ቀላል ውህደት።
አንድ አካል ያለው ትንሽ አሻራ፡- 120×80×65 ሴ.ሜ፣ ክብደቱ ≤58 ኪ.ግ፣ በቀላሉ በቦታው ላይ ማሰማራት የሚችል።
ሙሉው ስርዓት የብርሃን ምንጭን፣ የኢንተርፌሮሜትር ዋና ክፍልን እና የቁጥጥር ሞጁልን ያዋህዳል። ከተከፈተ በኋላ ተሰኪ እና አጫውት፣ ምንም የተወሳሰበ የኦፕቲካል መንገድ ማስተካከያ አያስፈልግም።
ለከፍተኛ-ትክክለኛነት ማኑፋክቸሪንግ ሰፊ የማመልከቻ ሽፋን
ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ፡ የሲሊኮን ዋፈርስ እና ማይክሮ-ናኖ ቺፕስ ባለ 3-ልኬት መልከዓ ምድር እና የደረጃ ቁመት ፍተሻ።
ፕሪሲሽን ኦፕቲክስ፡- ለኦፕቲካል ሌንሶች፣ ለዓላማዎች እና ለተሸፈኑ የኦፕቲካል ክፍሎች የሻካራነት እና የፊልም ውፍረት ሙከራ።
አዲስ ተግባራዊ ሽፋኖች፡- የሚያንፀባርቁ ሽፋኖችን እና ተግባራዊ ቀጭን ፊልሞችን የሚያሳይ የወለል መገለጫ እና ውፍረት ትንተና።
ሳይንሳዊ የምርምር ላቦራቶሪዎች፡ የማይክሮ-ናኖ መዋቅር ባህሪ እና ትክክለኛ የአካል ሞርፎሎጂ ሙከራ።
በኦፕቲካል ምርምር እና ልማት ውስጥ ለዓመታት ሙያዊ ልምድ ያለው፣ የሞገድ ርዝመት OE ለነጭ ብርሃን ኢንተርፌሮሜትሮች ሁሉንም ዋና የኦፕቲካል መንገዶችን እና የመለኪያ ስልተ ቀመሮችን በተናጥል ያዘጋጃል። ከብርሃን ምንጮች፣ ተጨባጭ ሌንሶች እስከ የካሊብሬሽን ስርዓቶች ድረስ ሙሉ ቴክኒካል ቁጥጥር። እያንዳንዱ ክፍል ከማቅረቡ በፊት ባለብዙ ዙር ትክክለኛነት መለኪያ ይደረግበታል። ሙሉ የሽያጭ በኋላ የቴክኒክ ድጋፍ እናቀርባለን እና በደንበኛ የስራ ቁራጭ መጠን እና በራስ-ሰር የምርት መስመር መስፈርቶች ላይ በመመስረት ብቸኛ የመለኪያ መፍትሄዎችን እናበጃለን።
የፖስታ ሰዓት፡ ጁላይ-15-2026